# CEA ищет систему электронно-лучевой литографии для площадки в Gif-sur-Yvette

> Шестилетний контракт на поставку включает доставку, монтаж, обучение и обслуживание; техническая оценка учитывает разрешение плотных рисунков, сшивку полей, совмещение и производительность.

- Тема: Тендер
- Темы: Semiconductors, Manufacturing
- Дата события: 2026-10-22
- Впервые опубликовано на EPC Feed: 2026-10-25T01:45:37.511Z
- Обновлено: 2026-10-25T01:45:37.511Z
- Страны: Франция
- Страница: https://epcfeed.com/ru/news/cea-electron-beam-lithography-system


## Ключевые сведения

- Заказчик: CEA Paris-Saclay
- Площадка: Gif-sur-Yvette, Франция
- Срок контракта: 72 месяца
- Базовая гарантия: 1 год с даты приёмки
- Обслуживание после гарантии: 3 года
- Оценка: 40 баллов за цену; 60 за техническую часть
- Срок подачи заявок: 24 ноября 2026 года, 16:00 (+01:00)

CEA Paris-Saclay объявила закупку системы электронно-лучевой литографии, которую необходимо поставить и ввести в эксплуатацию в Gif-sur-Yvette. Объём охватывает заводские проверки и испытания, упаковку и доставку на площадку CEA, монтаж и ввод в эксплуатацию, а также испытания на месте. Поставщик должен предоставить документацию для эксплуатации, обслуживания и ремонта оборудования, а также обучить пользователей. Указанный срок контракта — 72 месяца.

Уведомление устанавливает гарантию оборудования сроком на один год с даты приёмки. В неё входят поставка и замена нити накала при необходимости, а также один визит для профилактического обслуживания. Затем следует трёхлетний период обслуживания. Он включает ежегодные профилактические визиты, обновления программного обеспечения системы управления, телефонную поддержку и замену нити накала по необходимости. Таким образом, закупка охватывает не только первоначальное приобретение прибора: в пакет входят монтаж, передача знаний и многолетняя поддержка.

Перечислены три опции. Опция 1 — программное обеспечение для коррекции эффекта близости и подготовки сложных рисунков. Опция 2 — поставка и монтаж устройства терморегулирования с подопциями годовой гарантии и вариантов обслуживания. Опция 3 — неограниченное корректирующее обслуживание в течение трёх лет после окончания гарантии на оборудование. Поскольку опции отделены от основного объёма, участникам следует разграничить в предложении цены на обязательную базовую часть и дополнительные услуги и оборудование.

При оценке заявок цена получает 40 баллов, технические критерии — в сумме 60. Технические характеристики оцениваются в 30 баллов и включают соответствие спецификациям, разрешение и точность плотных рисунков, сшивку полей, совмещение, производительность или пропускную способность. Послепродажное обслуживание оценивается в 10 баллов по срокам реагирования в гарантийный и сервисный периоды, а также по отдельно оцениваемым услугам. Интерфейс и программная среда составляют 20 баллов. Такая структура придаёт существенный вес рабочим характеристикам и дальнейшему обслуживанию; ценовой балл рассчитывается по базовому объёму, опции 2 и сценарию для части цены, определяемой на основе сметы.

В уведомлении CEA закупка классифицирована как контракт на поставку в рамках открытой процедуры. Общий бюджет не указан; также не названы производитель прибора, энергия пучка, размер пластины или подложки, целевое разрешение и предполагаемое исследовательское применение. Здесь эти технические характеристики не приводятся. Срок подачи — 24 ноября 2026 года, 16:00 (+01:00). Потенциальным поставщикам следует изучить тендерную документацию, чтобы узнать полную спецификацию производительности, требования к интерфейсам, приёмочным испытаниям и точные коммерческие условия опций.

Срок контракта 72 месяца превышает отдельно описанные гарантию на один год и обслуживание в течение трёх лет. Уведомление не объясняет, как используются оставшиеся два года срока; участникам необходимо проверить проект контракта и график поставки, чтобы понять, как срок применяется после указанного обслуживания. Расчётная стоимость не опубликована. Доступные сведения о закупке — критерии технической оценки и обслуживания, опции и обязательства по приёмке; модель оборудования и научная цель не указаны.

## Источники

1. [Поставка системы электронно-лучевой литографии](https://ted.europa.eu/en/notice/-/detail/732082-2026). Официальное извещение, Tenders Electronic Daily (European Union), Дата публикации 2026-10-22, Дата изучения 2026-10-25.