Тендер
CEA ищет систему электронно-лучевой литографии для площадки в Gif-sur-Yvette
Шестилетний контракт на поставку включает доставку, монтаж, обучение и обслуживание; техническая оценка учитывает разрешение плотных рисунков, сшивку полей, совмещение и производительность.